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微電子行業的無塵車間是多少萬級的

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    微電子行業的無塵車間是多少萬級的

    半導體電子潔凈車間,指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。


    • 中文名

    • 電子無塵車間

    • 別    名

    • 半導體電子潔凈車間

    • 意    義

    • 潔凈度在10萬級標準以上的車間

    • 等    級

    • 100級(小于3.5個),1000級(小于35個),10000級(小于350個),100000級(小于3500個)








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